WU-20, WU-25, WU-26 датчики давления для сверхчистых сред

Датчики давления WU-20, WU-25, WU-26 предназначены для измерения и преобразования давления сверхчистых сред в электрический сигнал постоянного тока или напряжения.

Области применения WU-20, WU-25, WU-26:

• Газоразрядные панели для производителей оригинального оборудования.
• Производство полупроводников, плоских дисплеев и фотоэлектрических устройств.
• Для систем специального и массового газоснабжения.

Особенности датчиков WU-20, WU-25, WU-26:

• Высокоточное измерение давления до 0,15 % от погрешности системы (RSS)..
• Показания давления на базе реального вакуума и электронные средства экранирования помех и подавления шумов сигнала гарантируют высокую точность и долговременную стабильность измерений давления.
• Активная температурная компенсация снижает влияние изменений температуры на преобразователь, позволяя безопасно работать в условиях больших колебаний температуры, например, при эффекте Джоуля-Томсона в случае расширения газа.
• Преобразователи давления WU-25 (проходной) и WU-26 (для поверхностного монтажа) устойчивы к напряжениям перекоса, часто возникающим во время монтажа. Специальная конструкция тонкопленочного датчика исключает риск отказа датчика из-за нагрузок на технологическом соединении или сварных швах.
• Разрешение ATEX для зоны 2, класс FM I, разд. 2, группы A, B, C, D.